邁思德公司表示對(duì)于一些必須要在無塵室操作的微電子產(chǎn)品來說,無塵布的凈化等級(jí)是非常重要的,無塵室不僅要用無塵布,也要選擇相對(duì)應(yīng)凈化級(jí)別的無塵布。千級(jí)無塵室可以選擇千級(jí)或者優(yōu)于千級(jí)的無塵布。潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)無塵車間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素分為若干等級(jí),常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)IS014644- 1。
邁思德10級(jí)無塵室采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即無塵室的氣流在同-截面的任意一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使?jié)崈舻目諝庀瘛盎钊币粯?,將室?nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走。